镀膜机的高度测量

要确保稳定的涂布精度，必须对涂布头和晶圆进行准确的距离调整。CL 系列采用小型传感器探头，安装方便，对于硅晶圆这样的镜面目标物也能进行正确的距离测量。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

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