标线板的对位
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行业:
- 半导体/液晶
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产品:
- 测量仪 / 测量传感器
在 3 个方向上配置 ø8 mm 的小型传感头，可根据各传感头与目标物之间的距离信息，正确计算出位置及角度。SI-F 系列能够以分辨率 0.25 µm 的超高精度，最多可以设置 6 个探头进行同时测量。
行业:
产品:
在 3 个方向上配置 ø8 mm 的小型传感头，可根据各传感头与目标物之间的距离信息，正确计算出位置及角度。SI-F 系列能够以分辨率 0.25 µm 的超高精度，最多可以设置 6 个探头进行同时测量。
