标线板与晶圆的缝隙测量

透过标线板识别其与晶圆之间的距离，测量缝隙。SI-F 系列配备了可装设在距离目标物约 80 mm 处的传感头。不会影响设备内的部件，可实现 0.25 µm 分辨率超高精度测量。

微型传感头型分光干涉式 激光位移计

SI-F 系列

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