晶圆上湿膜的厚度测量

测量湿式工序中的晶圆上液体厚度。SI-T 系列提供多款传感头，以适应各类测量厚度。可以非接触测量数微米到1 mm 左右的厚度。

分光干涉位移型多层膜厚测量仪

SI-T 系列

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