透过玻璃窗检测晶圆形状

LK-G 系列配备了安装距离 1 m 的超长范围传感头。可透过玻璃窗进行测量，对真空或高温环境下晶圆的高度、倾斜度等实施高精度检测。

高速、高精度CCD激光位移传感器

LK-G3000 系列

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