蚀刻后的深度测量

如果使用显微镜进行检测，人为产生的偏差及检测耗时都是难以解决的课题。WI 系列以面为单位进行同时测量，实现非接触、无误差的瞬间测量。

干涉式同轴 3D 位移测量仪

WI-5000 系列

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