透过石英玻璃测量晶圆翘曲

透过石英玻璃，测量真空及高温环境下的晶圆翘曲。CL 系列采用小型传感器探头，能够安装在视口处有限的空间中。还能测量各种表面状态的目标物。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

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