静电卡盘的突起高度、平面度测量

用控制器运算多个传感器探头测得的高度数据，测量平面度。CL 系列还采用了传感器探头内部无电气部件的“零发热”结构。不会给装置带来温度变化，可实现稳定测量。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

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