晶圆传送时振动测量

SI-F 系列配备了 ø2 mm 的微型传感头，大幅减少了安装限制。除此以外，由于探头内部无电子部件，在高温、真空等环境下可完成高水准测量。

微型传感头型分光干涉式 激光位移计

SI-F 系列

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