研磨机的高度测量

研磨机内置了传感头，可以对设备和晶圆的间距进行非接触测量，高精度管理缝隙。CL 系列配备了可进行同轴测量的小型探头，既节省空间又便于安装。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

返回到“按行业、用途选择产品”