研磨垫片的表面形状测量

如需确认研磨垫片在使用过程中的磨损情况，必须将其从装置上取下后进行测量，是一桩费时费力的难事。CL 系列的小型传感器探头则能直接安装在机器上，对研磨垫片的沟槽深度等形状进行测量。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

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