晶圆端面形状测量

测量研磨处理后晶圆端面的形状。LJ-X 系列可瞬间测量截面形状。通过边旋转边测量的方式，实现晶圆全周的端面形状检测。还能借助最小点间隔 2.5 µm 的超高精细测量，检测微小的形状变化。

2D/3D 线激光测量仪

LJ-X8000 系列