探针台的平面度测量

利用多个传感头测得的高度测量值，进行探针台的平面度测量。SI-F 系列的 ø8 mm 小型传感头没有发热部分，不会引发温度漂移等误差，可实现极为准确的测量。

微型传感头型分光干涉式 激光位移计

SI-F 系列

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