探针台 GAP 控制

在装置内的有限空间中进行测量，是一件非常困难的事情，但是利用仅有 ø2 mm 的微型传感头，则能让其成为可能。传感头内部还采用零发热结构，无电子部件。减少引发误差的因素，实现稳定测量。

微型传感头型分光干涉式 激光位移计

SI-F 系列

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