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测量用于粘合晶圆和支撑玻璃的粘合剂的厚度。SI-T 系列具有高灵敏度的特点,借助少量反射光也能进行稳定测量。可透过玻璃,对粘合剂厚度进行非接触测量。
分光干涉位移型多层膜厚测量仪
SI-T 系列
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