玻璃高度测量

测量与晶圆粘合时的支撑玻璃高度。SI-F 系列配备了ø8 mm 的小型传感头，可实现 0.25 µm 分辨率高精度测量。还能稳定检测透明体的表面高度。

微型传感头型分光干涉式 激光位移计

SI-F 系列

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