激光划线器的 Z 轴调整

通过在加工前测量晶圆的高度，调整装置的 Z 轴。CL 系列实施的非接触测量，则不会对目标物造成压力或划痕。还配备了小型传感器探头，可装设在装置内的有限空间中。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

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