晶圆的凸块高度测量

如果用工具显微镜检测晶圆上的多个凸块，不仅费时费力，还会导致数据偏差。WI 系列则能瞬间完成测量范围内的同时检测，在提高检测精度的同时大幅缩短用时。

干涉式同轴 3D 位移测量仪

WI-5000 系列

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