激光刻印沟槽深度测量

WI 系列采用面同时测量，无需移动目标物且无需高精度载物台。还借助同轴测量方式消除了死角，能够对各种刻印形状进行准确的测量。

干涉式同轴 3D 位移测量仪

WI-5000 系列

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