检测晶圆是否从框架盒中弹出

检测晶圆从载具中略微弹出的情况。使用常规的三角测距传感器检测，会受到漫反射光的影响。CL 系列则采用同轴测量原理，可实现稳定检测。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

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