机械手的残余振动检测

搬运晶圆、标线板等工件时，关键在于等待装载器停止时的残余振动消失后，再进入下一步骤。利用激光位移计确认残余振动的有无，可有效预防下一工序中的装置故障及加工不良。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

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