机械手的位置检测

一旦机械手的高度或位置发生改变，可能会与晶圆载具内的晶圆发生碰撞，必须进行定期检测。CL 系列采用同轴测量原理的小型传感器探头，即便是结构复杂的装置，也能装设在其内部的狭小空间中。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列