电极的层叠偏离检测

层叠工序后，检测是否有层叠偏离。如果是X 轴分辨率为最小2.5 μm 的LJX 系列，可正确测量每1 块电极的形状。

2D/3D 线激光测量仪

LJ-X8000 系列

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