SiC 晶圆的厚度测量

测量 SiC 晶圆的厚度。通过搭载无发热感测头、厚度测量时专用的感测头固定夹具及光轴调整功能，实现了以往无法达到的高精度厚度测量。* 与本公司 LK-G5000 系列产品的比较

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

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