高精度座标台的定位

以 0.25 μm 分辨率实现超高精度测量。由于感测头不发热，可在对周围环境没有温度影响且没有温度漂移引起的测量误差的状态进行测量。

微型传感头型分光干涉式 激光位移计

SI-F 系列

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