晶圆边缘部的形状测量

测量晶圆边缘部的形状。仅需选择高度差和宽度、角度等测量工具，即可简单测量。另外，通过 3200 point/Profile的超高精细拍摄，实现以往难以达到的高精度形状测量。* 与本公司 LJ-V7000 系列产品的比较

2D/3D 线激光测量仪

LJ-X8000 系列

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