机械手的位置和振动测量

在搬运晶圆等时，重要的是在机械手停止时的残余振动消失后进入下一步骤。通过利用激光移位计确认残余振动是否已消失，可事先预防下一工序的装置故障或加工不良。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

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