槽口的位置检测

随着晶圆薄型化，使用 1D 激光位移计检测槽口的位置，产生了翘曲变大时光点发生偏移的问题。LJ-V 系列采用的是通过激光线，因此可应对晶圆翘曲引起的位置偏移。

超高速轮廓测量仪

LJ-V7000 系列

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