超极细线的外径测量

配备了可对 ø10 μm 的超极细线进行稳定测量的“极细模式”。也可稳定测量超极细线的外径或超窄间隙。而且，测量头的发射器和接收器为分离型，可通过在 1 台测量部间穿过的方式测量多个外径。

超高速/高精度测微计

LS-9000 系列