在晶圆上刻印不良标记

在刻印不良标记时使用墨辊，但因为需要逐个对芯片进行搬运和压印，所以单品刻印时间较长。而激光刻印机以非接触方式对区域内的多个芯片同时进行刻印，所以能够缩短单品刻印时间。

三轴混合式激光刻印机

MD-X 系列