晶圆胶带的切割、剥离、刻印

在进行背面研磨前，切割为了保护晶圆表面而粘贴的晶圆胶带。在剥离晶圆胶带之前，会照射激光，来降低其粘性。在进行晶圆切割之前，在切割胶带上进行刻印用于识别个体。

三轴混合式激光刻印机

MD-X 系列

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