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解决方案
检测光学元件上不正确的轮廓
测量形状怪异几何体上的透明或不透明目标
Z 轴扫描: 对音叉运用共焦原理,实现高精度测量。 X 轴扫描: 振荡模块产生巨大的扫描区域。实现更高的测量稳定性。
革命性的全新位移计具备 0.1μm 的精确度
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