透明薄膜的厚度测量

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  SI-F 系列
  微型传感头型分光干涉式 激光位移计

  业界超细微型传感器头，超高精度，无一般传感器的发热问题，也不受电磁噪声影响。

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  SI-F80R 系列
  分光干涉式晶片厚度计

  采用近红外 SLD，即使已贴附 BG 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异，也可实现准确的生产线上测量。

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