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解决方案
可以使用纳米分辨率，在不接触目标的情况下测量厚度
高精度，可以测量5um厚度，而且可以测量多层薄膜。
业界超细微型传感器头，超高精度，无一般传感器的发热问题，也不受电磁噪声影响。
采用近红外 SLD，即使已贴附 BG 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异，也可实现准确的生产线上测量。
