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解决方案
可以使用纳米分辨率,在不接触目标的情况下测量厚度
高精度,可以测量5um厚度,而且可以测量多层薄膜。
业界超细微型传感器头,超高精度,无一般传感器的发热问题,也不受电磁噪声影响。
采用近红外 SLD,即使已贴附 BG 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异,也可实现准确的生产线上测量。
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