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解决方案

透明网片的厚度测量

薄膜涂层厚度的高精度测量

可以使用纳米分辨率，在不接触目标的情况下测量厚度

优点: 高精度，可以测量5um厚度，而且可以测量多层薄膜。

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SI-F 系列
微型传感头型分光干涉式激光位移计

业界超细微型传感器头，超高精度，无一般传感器的发热问题，也不受电磁噪声影响。

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SI-F80R 系列
分光干涉式晶片厚度计

采用近红外 SLD，即使已贴附 BG 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异，也可实现准确的生产线上测量。

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