中国

晶圆缺口位置检测

Position detection of wafer notches

视觉系统检测晶圆缺口的旋转位置。

Trend Edge Stain工具具有500万像素分辨率的摄像机和内置的算法,可以稳定地检测缺口,而且还能够输出位置和尺寸数据。

优点

使用200万像素摄像机可以检测缺口的位置,但摄像机的可重复性不稳定。通过使用XG系列系统,可以借助500万像素高速摄像机和新的Trend Edge Stain工具稳定地定位缺口。

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