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测量传感器的选择

半导体

在进行非接触式测量时,可以记录测量数据,从而可以确认设备本身的精度和定位。 无论镜面还是非镜面,都可以进行稳定测量。

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传统机型一般*通过一维激光位移计检测槽口的位置。 随着晶圆薄型化发展,出现了翘曲变大后光点无法聚焦的问题。 LJ-X系列通过使用线激光,因此可以应对晶圆翘曲引起的位置偏差问题。

*与本公司LK-G3000产品的比较

2D/3D 线激光测量仪

LJ-X8000 系列

随着主滚轮的实时变化和温度变化,钢丝锯的间距会发生变动。 通过定期对钢丝锯进行间距测量,使更换滚轮的时机可视化。

超高速度、高精度数字测微计

LS-9000 系列

通过0.001μm的分辨率进行超高精度测量。 由于感测头不发热,因此可以在温度对周围环境的零影响和由温度漂移引起的零测量误差的情况下进行测量。

微型传感头型分光干涉式 激光位移计

SI-F 系列

切割片的厚度很薄,通常只有几十微米。加工后的刀片可能会出现刀尖缺损的情况,通过定期对刀片的厚度进行测量,可以降低维护所需要的工时。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

如果机械手的高度位置发生变化,可能会在晶圆载体中与晶圆产生冲突,并且需要定期测量。 通过使用大量程传感器探头可以穿过视口进行测量。

2D/3D 线激光测量仪

LJ-X8000 系列

使用测量显微镜或显微镜进行离线取样。问题是人工测量的位置存在差异,需要花费时间来检查。 WI-5000系列在镜面和透明物体上也可以进行统一测量,因此可避免人为误差,缩短检测时间。

干涉式同轴 3D 位移测量仪

WI-5000 系列

测量晶圆边缘部的形状。仅需选择高度差和宽度、角度等测量工具,即可简单测量。另外,通过 3200 point/Profile的超高精细拍摄,实现以往*难以达到的高精度形状测量。

*与本公司LJ-G5000产品的比较

2D/3D 线激光测量仪

LJ-X8000 系列

CL-3000系列采用小型测量头,也易于安装到装置上,即使是硅晶圆等镜面目标物,也可正确地测量距离。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

搭载厚度测量时专属的传感头固定夹具及光轴调整功能,实现了出色的高精度厚度测量。
即使是表面粗略的晶圆,也能稳定地测量。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

使用2个传感头,即使是铸锭等大目标物,也可非接触测量。另外,一边转动一边测量,也可实现全周的外径、真圆度测量。

在线投影图像测量仪

TM-X5000 系列

由于漫反射等原因,很难对光泽强的槽形状进行非接触测量,但是LJ-X系列搭载抑制这些干扰的自主研发功能,实现稳定的形状测量。

2D/3D 线激光测量仪

LJ-X8000 系列