微型传感头型分光干涉式 激光位移计
SI-F 系列
SI-F 系列微型传感头型分光干涉式激光位移计应用
在自动化应用和传感应用中无可挑剔的表现。
测量晶片厚度
微型传感头可用于测量硅晶片等精密物体的厚度和翘曲度。
[优点]
超高分辨率
0.25 μm 的分辨率
多功能控制器
算术运算电路将测量数据即时转换为厚度。
不发热
传感头中没有电子部件，不会产生热量。
测量复印机中的辊的动作。
微型传感头可用于测量复印机等精密机械中的各个部件的动作。
[优点]
ø2 mm 微型传感头
无需预留安装位置。
最高可承受 85°C
即使紧靠发热的机身也能进行测量。
5 kHz 高速采样
即使是高速工件也可安全地测量。
定位高精度载物台
微型传感头可用于检测载物台停止的位置，因此可将实际值与参考值的差值反馈给相关设备。
[优点]
10 mm 以上的设定距离
无碰撞危险。
最多 6 轴同时测量
实现无时间误差的多轴控制。
ø8 mm 小型传感头
无需预留安装位置。
高精度测量辊的偏转。
微型传感头可用于测量各种要求精确测量的辊（例如胶辊）的偏转。
[优点]
对工件无伤害
非接触测量方式避免损伤工件。
直接表示偏转度
控制器即时算出并显示偏转度。
5 kHz 高速采样
可紧跟高速旋转的工件。
测量曝光掩模的间隙
微型传感头可用于测量曝光掩模和玻璃基板的间隙。
[优点]
80 mm 的设定距离
即使掩模较厚亦可安装微型传感头。
ø12 mm 小型传感头
无需预留安装位置。
不发热
传感头中没有电子部件，不会产生热量。
测量玻璃盘的厚度
微型传感头可用于测量玻璃盘等光学透明物体的厚度。
[优点]
超高分辨率
0.25 μm 的分辨率
5 kHz 高速采样
可测量高速旋转的工件的厚度。
最多 6 轴同时测量
实现无时间误差的多轴控制。
