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          微型传感头型分光干涉式 激光位移计

          SI-F 系列

          高精度测量仪器应用需求 调查活动

          接触式位移传感器

          SI-F 系列微型传感头型分光干涉式激光位移计应用

          在自动化应用和传感应用中无可挑剔的表现。

          测量晶片厚度

          微型传感头可用于测量硅晶片等精密物体的厚度和翘曲度。

          测量晶片厚度

          [优点]
          超高分辨率

          0.25 μm 的分辨率

          多功能控制器

          算术运算电路将测量数据即时转换为厚度。

          不发热

          传感头中没有电子部件,不会产生热量。

          测量复印机中的辊的动作。

          微型传感头可用于测量复印机等精密机械中的各个部件的动作。

          测量复印机中的辊的动作。

          [优点]
          ø2 mm 微型传感头

          无需预留安装位置。

          最高可承受 85°C

          即使紧靠发热的机身也能进行测量。

          5 kHz 高速采样

          即使是高速工件也可安全地测量。

          定位高精度载物台

          微型传感头可用于检测载物台停止的位置,因此可将实际值与参考值的差值反馈给相关设备。

          定位高精度载物台

          [优点]
          10 mm 以上的设定距离

          无碰撞危险。

          最多 6 轴同时测量

          实现无时间误差的多轴控制。

          ø8 mm 小型传感头

          无需预留安装位置。

          高精度测量辊的偏转。

          微型传感头可用于测量各种要求精确测量的辊(例如胶辊)的偏转。

          微型传感头可用于测量各种要求精确测量的辊(例如胶辊)的偏转。

          [优点]
          对工件无伤害

          非接触测量方式避免损伤工件。

          直接表示偏转度

          控制器即时算出并显示偏转度。

          5 kHz 高速采样

          可紧跟高速旋转的工件。

          测量曝光掩模的间隙

          微型传感头可用于测量曝光掩模和玻璃基板的间隙。

          测量曝光掩模的间隙

          [优点]
          80 mm 的设定距离

          即使掩模较厚亦可安装微型传感头。

          ø12 mm 小型传感头

          无需预留安装位置。

          不发热

          传感头中没有电子部件,不会产生热量。

          测量玻璃盘的厚度

          微型传感头可用于测量玻璃盘等光学透明物体的厚度。

          测量玻璃盘的厚度

          [优点]
          超高分辨率

          0.25 μm 的分辨率

          5 kHz 高速采样

          可测量高速旋转的工件的厚度。

          最多 6 轴同时测量

          实现无时间误差的多轴控制。

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