SI-F 系列
在自动化应用和传感应用中无可挑剔的表现。
微型传感头可用于测量硅晶片等精密物体的厚度和翘曲度。
0.25 μm 的分辨率
算术运算电路将测量数据即时转换为厚度。
传感头中没有电子部件,不会产生热量。
微型传感头可用于测量复印机等精密机械中的各个部件的动作。
无需预留安装位置。
即使紧靠发热的机身也能进行测量。
即使是高速工件也可安全地测量。
微型传感头可用于检测载物台停止的位置,因此可将实际值与参考值的差值反馈给相关设备。
无碰撞危险。
实现无时间误差的多轴控制。
无需预留安装位置。
微型传感头可用于测量各种要求精确测量的辊(例如胶辊)的偏转。
非接触测量方式避免损伤工件。
控制器即时算出并显示偏转度。
可紧跟高速旋转的工件。
微型传感头可用于测量曝光掩模和玻璃基板的间隙。
即使掩模较厚亦可安装微型传感头。
无需预留安装位置。
传感头中没有电子部件,不会产生热量。
微型传感头可用于测量玻璃盘等光学透明物体的厚度。
0.25 μm 的分辨率
可测量高速旋转的工件的厚度。
实现无时间误差的多轴控制。