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白光干涉位移计（3D）是向测量区域以“面”发射光的位移计。几乎不受工件材质及颜色的影响而以面的光进行同轴测量，因此不发生因狭窄位置或凹槽边沿等凹凸形状遮挡反射光的情况。可使用高度信息进行高度差、宽度、角度、体积、粗糙度、平坦度等各种测量。
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采用白光干涉原理，可实现高速、高精度的3D测量。支持从高度差/体积测量等的测量到宽度/面积等各种测量。
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针对最大 10 × 10 mm 的测量区域，可瞬间获取 8 万个点的高度。 由于采用白光干涉原理，不受材质/颜色、死角的影响，实现了微米级的高精度测量。
测量多点时，需要高精度且高速扫描目标物。 因此，会将时间浪费在移动载物台上，不易进行全数检测。 由于 WI-5000 系列是以面进行同时测量，因此可大幅缩短测量时间，实现全数检测。
