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分光干涉位移型多层膜厚测量仪SI-T 系列

传感器头 长距离厚度测量型

SI-T80

高精度测量仪器应用需求 调查活动

接触式位移传感器

规格

选择语言

型号

SI-T80

类型

长距离厚度测量型 传感头

分光单元

SI-T80U

测量范围 (折射率n=1)

0.01 到1.0 mm

参考距离

80 mm*1

测量用光源

红外SLD , 输出1 mW , 1 类激光产品(IEC60825-1)

光束直径

φ25 μm*2

线性度

±0.3 µm*3

分辨率

0.01 µm*4

采样周期

1 ms

扫描范围

扫描周期

LED显示

目标靠近测量中心:绿光。目标在测量范围内:橙光。目标在测量范围外:橙光闪烁。

环境抗耐性

外壳防护级

IP64

环境光照

白炽灯、荧光灯:10000 lux 以下

环境温度

0 到+50°C

相对湿度

35 到85%RH(无冷凝)

抗震性

10 到55Hz,XYZ 方向上1.5 mm
双倍振幅,各2 小时

材料

SUS304

重量

约 70g (含连接线)

*1 表示与传感头正面的距离。会出现最大 ±0.2 mm 的个别差异。
*2 表示测量范围内的最小光束直径。
*3 当测量对象是 2 块玻璃板的间隙厚度,并将平均测量次数设定为 64 次时获得的值
*4 当测量对象是位于测量中心厚度为 t=0.1 mm 的玻璃,并将平均测量次数设定为 4096 次时获得的值

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