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          分光干涉位移型多层膜厚测量仪SI-T 系列

          传感器头 扫描变位测量型

          SI-TS10

          高精度测量仪器应用需求 调查活动

          接触式位移传感器

          规格

          选择语言

          型号

          SI-TS10*1*2

          类型

          扫描位移测量型 传感头

          分光单元

          SI‐TS10U

          测量范围 (折射率n=1)

          0.01 到1.0 mm

          参考距离

          9.1 mm*3

          测量用光源

          红外SLD , 输出1 mW , 1 类激光产品(IEC60825-1)

          光束直径

          φ30 μm*4

          线性度

          ±0.3 µm*5

          分辨率

          0.01 μm(0.25 μm)*6*7

          采样周期

          1 ms

          扫描范围

          1mm±0.1mm

          扫描周期

          7.8Hz±0.1Hz

          LED显示

          目标靠近测量中心:绿光。目标在测量范围内:橙光。目标在测量范围外:橙光闪烁。

          环境抗耐性

          外壳防护级

          IP64

          环境光照

          白炽灯、荧光灯:10000 lux 以下

          环境温度

          0 到+40°C

          相对湿度

          35 到85%RH(无冷凝)

          抗震性

          10 到55Hz,XYZ 方向上0.5 mm
          双倍振幅,各2 小时

          材料

          重量

          约340g (含连接线)

          *1 使用扫描位移测量传感头扫描机构所需要的电源电压为24VDC±10% 脉动低于10%(P–P) 最大电流消耗低于0.3A
          *2 传感头和分光单元已经配套调整完毕。无兼容性。
          *3 表示与传感头正面的距离。会出现最大 ±0.2 mm 的个别差异。
          *4 表示测量范围内的最小光束直径。
          *5 当测量对象是玻璃板表面并将平均测量次数设定为 64 次时获得的值
          *6 不使用峰值间计算时为 0.25 μm。
          *7 当测量对象是位于测量中心厚度为 t=0.1 mm 的玻璃,并将平均测量次数设定为 4096 次时获得的值

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