3D 轮廓测量仪

VR-6000 系列

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3D 轮廓测量仪 工作头 (标准机型) VR-6100

VR-6100 - 3D 轮廓测量仪 工作头 (标准机型)

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

型号

VR-6100

类型

工作头

控制器

VR-6000

观察视野

低倍(大视野)

15 英寸显示器上的倍率 12×

横向

24.0 mm

纵向

18.0 mm

15 英寸显示器上的倍率 25×

横向

12.0 mm

纵向

9.0 mm

15 英寸显示器上的倍率 38×

横向

8.0 mm

纵向

6.0 mm

15 英寸显示器上的倍率 50×

横向

纵向

4.5 mm

高倍(高分辨率)

15 英寸显示器上的倍率 40×

横向

7.6 mm

纵向

5.7 mm

15 英寸显示器上的倍率 80×

横向

3.8 mm

纵向

2.9 mm

15 英寸显示器上的倍率 120×

横向

2.5 mm

纵向

1.9 mm

15 英寸显示器上的倍率 160×

横向

纵向

1.4 mm

变焦

1 至4 倍

高度测量

显示分辨率

0.1 μm

高度测量 范围

无Z 连接

低倍(大视野): 10 mm
高倍(高分辨率): 1 mm

有Z 连接

低倍(大视野): 50 mm
高倍(高分辨率): 30 mm

重复精度 σ

无Z 连接

0.4 μm *1

有Z 连接

1.0 μm *1

正确性

无Z 连接

±2.5 μm *1

有Z 连接

±4.0 μm *1

宽度测量

重复精度σ

低倍(大视野): 1 μm
高倍(高分辨率): 0.5 μm
*1

正确性

低倍(大视野): ±5 μm
高倍(高分辨率): ±2 μm
*1

图像拼接功能

手动测量(XY 手动移动+Z 自动控制) *2

图像拼接功能

电动旋转单元

不支持

XY 可测量范围

92 × 86 mm *2

载物台

XY 行程

70 × 70 mm(手动)

Z 行程

69 mm(电动)

承受负重

4.5 kg

动作距离

75 mm

拍摄元件

1 英寸400 万像素单色CMOS

投光镜头

双远心镜头×2

受光镜头

双远心镜头

照明系统

观察用光源

LED 环形照明(红、蓝、绿)

测量用光源

白色LED

数据处理部

基恩士指定专用电脑(操作系统为Windows 10 Pro)

电源

电源电压

AC100 ~ 240 V ±10% 50/60 Hz

消耗功率

200 VA 以下

环境抗耐性

环境温度

+ 15 ~ 30℃

相对湿度

20 至80%RH(无凝结)

重量

约25 kg *3

*1 使用基恩士规定的基准规、以基恩士规定的测量模式进行测量时的数值(环境温度23 ±1℃)
*2 需要使用测量功能扩展模块(VR-H4J)
*3 测量部单体的重量约为11kg

其他型号