微粒/清洁度测量
由于质量要求的提高，防止在生产过程被外部微粒污染正变得日益重要。
照明方法
除了具有适当亮度和高分辨率的镜头，选用适当的照明方法是至关重要的。环状照明和同轴落射照明均适用于物体的细致检测。当使用数码显微系统对低反射率或半透明目标物进行微粒/清洁度测量时，应优先选择透射照明。如果反射率较高，产生光泽，可采用扩散照明，以清晰辨别微粒/污染物与目标物。通过片射照明改变照明方向会有助于显示外来微粒。最后，如果只有通过透明物体才能观察目标物，可采用偏光照明。
- A
- 光源
- B
- 镜头
- C
- 目标物
- D
- 单向透视玻璃
- A
- 光源
- B
- 镜头
- C
- 目标物
- D
- 磨砂玻璃滤光片
基恩士数码显微系统具有多方位多功能照明功能，可将拍摄的图像中的照明数据保存下来。因此，用户可改变图像照明，无须重新拍摄物体图像。
基恩士数码显微系统具有环形反射减少功能，可进行更细致的微粒/清洁度测量。
微粒/清洁度测量
通过基恩士的多方位观测技术，用户可准确判断外来微粒处于表面上方或下方。这降低了测量难度，有利于快速制定潜在解决方案。
外来微粒3D成像是制定解决方案的另一途径。测量时，3D数据有助于确定问题的根源在于划伤还是外来微粒造成的污染。
通过测量外来微粒进行量化分析
在观察并拍摄外来微粒后，基恩士数码显微系统可实时进行各种平面和3D测量，并通过文本处理或电子表格软件形成报告。
基恩士数码显微系统可依据ISO 16232和VDA 19等标准的规定，进行微粒/清洁度测量。凭借先进的成像功能，该显微镜能够进行高精确度测量，测量精度可达1 µm。
