旋涂机

旋涂机概要

“旋涂机”是一种利用旋转离心力的涂布装置,也被称为“旋转涂布机”。对于平滑的被涂物(工件),能够形成薄且均匀的涂层。旋涂机的用途非常广泛,代表性用途包括半导体晶圆的表面处理、光阻涂布等流程类工序,以及光学媒介涂膜、镜头底剂及调光液的涂布等。

旋涂机涂布
旋涂机涂布
  1. A. 旋转体
  2. B. 被涂物表面
  3. C. 涂液

将涂液滴落在被涂物(工件)的中心,进行高速旋转。加速旋转会对涂液施加离心力,使涂液扩散到整个表面并成膜。涂布膜厚取决于涂液的粘度、被涂物的转速、旋转启动加速度、与干燥速度相关的排气。
旋涂的原理是依靠旋转离心力将多余的涂液甩离被涂物,因此实际成膜的液量要少于滴落的液量,存在会导致材料损耗的缺点。

为了通过排气控制干燥速度,防止涂液飞溅到设备外部,避免异物混入,旋转体及滴落的机构通常都会被收纳在箱体中,或采用涂裱时关闭上盖的设计式样。
设备的基本原理在近几十年并未改变,但适用于被涂物不同尺寸、重量、材质的装置,转速(速度)控制、自动滴落之类的规格功能等,都实现了更加多样化的发展。

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